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    新戊硅烷（NPS）
    新戊硅烷（NPS）
    • 中文名：新戊硅烷
    • 英文名：Neopentasilane
    • CAS号：15947-57-6
    • 纯度：≥99.0%
    • 用途：在低温通过化学气相沉积（CVD）快速形成外延硅和多晶硅
    • 规格：公斤级
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