1，1，1-三氯乙硅烷（3CDS）_南大光电

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1，1，1-三氯乙硅烷（3CDS）

1，1，1-三氯乙硅烷（3CDS）

中文名：1，1，1-三氯乙硅烷
英文名：1，1，1-Trichlorodisilane
CAS号：78228-96-3
纯度：≥99.0%
用途：通过等离子体加强原子层沉积（PEALD）形成氮化硅
规格：公斤级

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