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    五氯乙硅烷 （PCDS）
    五氯乙硅烷 （PCDS）
    • 中文名：五氯乙硅烷
    • 英文名：Pentachlorodisilane
    • CAS号：31411-98-0
    • 纯度：≥99.0%
    • 用途：通过等离子体加强原子层沉积（PEALD）形成氮化硅
    • 规格：公斤级
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