1，1-二氯-1-二异丙氨基乙硅烷（DCDADS）_南大光电

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1，1-二氯-1-二异丙氨基乙硅烷（DCDADS）

1，1-二氯-1-二异丙氨基乙硅烷（DCDADS）

中文名：1，1-二氯-1-二异丙氨基乙硅烷
英文名：1，1-Dichloro-1-diisopropylaminodisilane
CAS号：2152681-89-3
纯度：≥99.0%
用途：通过等离子体加强原子层沉积（PEALD）形成氮化硅
规格：公斤级

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