1，1，1-三（二甲氨基）乙硅烷（TADS）_南大光电

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1，1，1-三（二甲氨基）乙硅烷（TADS）

1，1，1-三（二甲氨基）乙硅烷（TADS）

中文名：1，1，1-三（二甲氨基）乙硅烷
英文名：1，1，1-Tris(dimethylamino)disilane
CAS号：2273763-87-2
纯度：≥99.0%
用途：通过等离子体加强原子层沉积（PEALD）形成高密度氧化硅
规格：公斤级

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