三乙硅烷基胺（TDSA）_南大光电

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三乙硅烷基胺（TDSA）

三乙硅烷基胺（TDSA）

中文名：三乙硅烷基胺
英文名：Trisdisilanylamine
CAS号：14635-45-1
纯度：≥98.0%
用途：通过化学气相沉积（CVD）或原子层沉积（ALD）形成含硅薄膜
规格：公斤级

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