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    三甲硅烷基胺 （TSA）
    三甲硅烷基胺 （TSA）
    • 中文名：三甲硅烷基胺
    • 英文名：Trisilylamine
    • CAS号：13862-16-3
    • 用途：通过流动化学气相沉积（FCVD）形成氧化硅
    • 纯度指标：99.65%
    • 规格：公斤级
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