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    “中国芯”关键材料国产化

    1,2-二(三氯甲硅基)乙烷(BTCSE)
    • 英文名: 1,2-Bis(trichlorosilyl)ethane (简称BTCSE)
    • 熔点: 28℃
    • 沸点: 202℃
    • 蒸气压: 0.492mmHg at 25℃
    • 存储温度: 安全温度≤51℃,建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Adduct
    叔丁基膦(TBP)
    • 英文名: Tertiarybutylphosphine (简称TBP)
    • 熔点: 4℃
    • 沸点: 54℃
    • 蒸气压: lgp(Torr) = 7.552-1529/T(K)
    • 存储温度: 安全温度≤37℃
    • 产品等级: Adduct
    四氯化铪(HfCl₄)
    • 英文名: Hafnium(IV) chloride (简称HfCl₄)
    • 熔点: 无资料
    • 沸点: 46℃
    • 升华温度:319℃
    • 蒸气压: 1mm Hg(190℃)
    • 存储温度: 安全温度≤51℃,建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Adduct
    三氯化铝(AlCl₃)
    • 英文名: Aluminium chloride
    • 熔点: 194℃
    • 沸点: 180℃
    • 蒸气压: 133.3Pa(99℃); 13.3KPa(151℃)
    • 储存温度:未体现
    • 产品等级: Adduct
    四(甲乙氨基)锆(TEMAZ)
    • 英文名: Tetrakis(Ethylmethylamino)Zirconium(简称TEMAZ)
    • 熔点: 无资料
    • 沸点: 81℃ (0.1hPa)
    • 蒸气压: 1 Torr at 70℃
    • 存储温度: 安全温度≤51℃,建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Adduct
    四(甲乙氨基)铪(TEMAH)
    • 英文名: Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(简称TEMAH)
    • 熔点: < -50℃
    • 沸点: 79℃/ 0.1 Torr
    • 蒸气压: 0.05 Torr at 75℃
    • 存储温度: 安全温度≤51℃,建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Adduct
    四(二甲氨基)铪(TDMAH)
    四(二甲氨基)铪(TDMAH)
    • 英文名: Tetrakis(dimethylamido)hafnium
    • CAS号: 19782-68-4
    • 熔点: 26-29℃
    • 沸点: 60℃(0.01hPa)
    • 蒸气压: lgp(Torr) = 9.99-3377/T(K)
    • 存储温度: ≤51℃
    • 产品等级: Adduct
    • 规格: 50g/100g/200g
    四(二甲氨基)锡(TDMASn)
    四(二甲氨基)锡(TDMASn)
    • 英文名: Tetrakis(dimethylamino)tin
    • CAS号:1066-77-9
    • 熔点: NA
    • 沸点: 54℃ at 0.1 Torr
    • 蒸气压: 0.2 Torr at 300 K
    • 存储温度: ≤51℃
    • 产品等级: Adduct
    • 规格: 50g/100g
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