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    2017-至今

    2017年9月


    · 获国家“02-专项”193nm 光刻胶及配套材料关键技术的开发项目立项。

    · 建成8ALD/CVD前驱体系列产品生产线,已有部分产品通过知名客户验证并具备批量供货能力。

    · 引进高K三甲基铝先进生产线。



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