ALD / CVD前驱体系列产品

高纯ALD/CVD前驱体产品是整个电子工业体系的核心源材料之一,其被广泛应用于电脑芯片、太阳能电池、移动通讯、卫星导航、航天器等电子器件制造的诸多方面,在航空航天、新型太阳能电池、电子产品等领域发挥着巨大作用。

六氯乙硅烷

Cl6Si2

≥99.999995%

四乙氧基硅烷

C8H20O4Si

≥99.9999999%

八甲基环四硅氧烷

C8H24O4Si4

≥99.999999%

四甲基硅烷

C4H12Si

≥99.99999%

硼酸三乙酯

C6H15BO3

≥99.9999999%

磷酸三乙酯

C6H15O4P

≥99.9999999%

四(二甲胺基)钛

C8H24N4Ti

≥99.9999%

四氯化钛

Cl4Ti

≥99.99999%