高纯电子特气系列产品

高纯砷烷、磷烷等特种气体均为集成电路制备中的主要支撑材料,广泛应用于电子行业、太阳能电池、移动通信、汽车导航、航空航天、军事工业等方面,南大光电所售磷烷、砷烷产品纯度达到6N级别。

除此之外,南大光电还有磷烷混合气、砷烷混合气、乙硅烷混合气等各种混合气可售,其平衡气可选氢气H2、氦气He、氮气N2、氩气Ar等,其他混合气可根据客户要求定制,气瓶规格为47L、470L及定制规格。

磷烷

PH3

≥99.9999%

砷烷

AsH3

≥99.9999%

磷烷安全源

PH3

≥99.9997%

砷烷安全源

AsH3

≥99.9995%

三氟化硼安全源

BF3

≥99.9%

磷烷混合气

99.9999%/99.99999%

砷烷混合气

99.9999%/99.99999%

硅烷混合气

99.9999%/99.99999%

乙硼烷混合气

99.999%/99.9999%

乙硅烷混合气

99.999%/99.9999%